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PLD法生长高质量 ZnO薄膜及其光电导特性研究

边继明 , 李效民 , 赵俊亮 , 于伟东

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2006.00701

采用脉冲激光沉积(PLD)法在单晶Si(100)衬底上生长ZnO薄膜, 以X射线衍射(XRD)和场发射扫描电镜(SEM)等手段分析了所得ZnO薄膜的晶体结构和微观形貌. 结果表明, 随着衬底温度和薄膜生长时氧分压的增加, ZnO薄膜的晶体结构和化学计量比得到...

关键词: ZnO薄膜 , pulsed laser deposition (PLD) , photoconductive UV detector , photoresponsivity mechanism