张卫华
,
袁媛
,
石春梅
,
赵高扬
无机材料学报
doi:10.3724/SP.J.1077.2008.00886
采用改进的化学修饰的溶胶-凝胶工艺, 以聚乙烯吡咯烷酮(PVP)为薄膜开裂抑制剂, 以乙酰丙酮为化学修饰剂, 利用乙酰丙酮可以与金属盐形成的配位螯合物的特性, 制备了具有紫外光感光特性的钛酸锶钡(Ba0.8Sr0.2TiO3)前驱溶胶...
关键词:
BST薄膜
,
photosensitivity
,
fine patterning
,
sol-gel process
张卫华
,
赵高扬
无机材料学报
以甲醇为溶剂,硝酸氧锆、硝酸钇为前驱物,采用溶胶-凝胶方法,通过引入化学修饰剂乙酰丙酮(AcAcH),使乙酰丙酮和锆离子形成螯合物,得到了具有紫外光感光性的溶胶及其凝胶薄膜,提出了YSZ薄膜的微细图形加工新方法.UV-Vis.分光光度计的紫外光谱测试结果表明:乙酰丙酮与锆离子形成的螯合物在室温、可见...
关键词:
氧化锆薄膜
,
sol-gel process
,
photosensitivity
,
fine patterning
于威
,
赵思铭
,
牛继伟
,
杨彦斌
,
马登浩
,
李晓苇
,
傅广生
人工晶体学报
采用等离子体增强化学气相沉积技术通过高氢和低氢稀释层交替生长制备出多层初始晶硅薄膜,利用Raman散射、红外吸收、紫外可见吸收及I-V测量等技术分析了薄膜的微观结构、能带特征和光电导特性.结果显示,不同氢稀释层交替生长导致薄膜由非晶硅向初始晶硅结构转变,随高氢稀释层厚度的增加,薄膜微观结构有序性提高...
关键词:
多层初始晶硅
,
微结构有序性
,
光敏性
