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氮化铝薄膜织构的极图法研究

许小红 , 武海顺 , 马文瑾 , 段静芳 , 李佐宜

无机材料学报

在X射线衍射结果的基础上,采用极图法研究了AIN薄膜以(DO2)和(100)面的取向分布,发现在一定条件下制备的AIN(002)有很强的织构,并通过极图法来确定X射线衍射所无法确定的AIN(100)面择优取向薄膜中各晶粒c轴间的关系.

关键词: 氮化铝薄膜 , pole-figure method , texture