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石英衬底上柱状多晶硅薄膜的制备

张丽伟 , 周伶俐 , 李瑞 , 李红菊 , 卢景霄

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2008.00369

利用射频等离子体增强化学气相沉积法(RF-PECVD)在已经预沉积有非晶硅薄膜的石英衬底上低温沉积了N/I非晶硅薄膜, 对样品进行了两步快速光热(RTP)退火. 采用 Raman、X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和透射电子显微镜(TEM)等测试仪器对样品退火前后的结晶状况和微观形貌进行...

关键词: 快速光热退火 , columnar grain , poly-Si thin film , poly-Si thin film solar cells