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脉冲偏压电弧离子镀制备C1-x-yNxZry超硬复合薄膜

李红凯 , 林国强 , 董闯

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2010.00517

用脉冲偏压电弧离子镀方法在保持石墨靶弧流恒定的条件下, 通过同步改变锆靶弧流与氮流量,在硬质合金基体上制备了一系列不同成分的C1-x-yNxZry复合薄膜. 随着锆靶弧流与N流量增...

关键词: 类金刚石薄膜 , superhard composite film , pulsed bias , arc ion plating

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