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PECVD法淀积氟碳掺杂的氧化硅薄膜表征

丁士进 , 张庆全 , 张卫 , 王季陶

无机材料学报

以正硅酸乙酯（ＴＥＯＳ）和八氟环丁烷（Ｃ４Ｆ８）为原料，采用等离子体增强化学气相淀积（ＰＥＣＶＤ）方法制备了氟碳掺杂的氧化硅薄膜（ＳｉＣＯＦ）．样品的Ｘ射线光电子能谱（ＸＰＳ）和傅立叶变换红外光谱（ＦＴＩＲ）分析表明薄膜中含有Ｓｉ－Ｆ、Ｓｉ－Ｏ、Ｃ－Ｆ、Ｃ－ＣＦ_ｘ

关键词: 等离子体增强化学气相淀积 , SiCOF film , XPS , FTIR , refractive index

Pb_1-xSr_xSe薄膜材料的微结构和光学特性

王擎雷 , 吴惠桢 , 斯剑霄 , 徐天宁 , 夏明龙 , 谢正生 , 劳燕锋

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2007.01108

采用分子束外延的方法在BaF₂衬底(111)上制备出了高质量的Pb_1-xSr_xSe (0≤ x≤0.050)薄膜. X射线衍射结果表明, Pb_1-xSr_xSe 薄膜为立方相NaCl型晶体结构, 没有观察到SrSe相分离现象, 薄膜的取向为平行于衬...

关键词: Pb_1-xSr_xSe 外延薄膜 , transmission spectrum , refractive index , absorption coefficient

等离子体源增强磁控溅射沉积Al₂O₃薄膜研究

雷明凯 , 袁力江 , 张仲麟

无机材料学报

采用电子回旋共振微波等离子体源增强磁控溅射沉积氧化铝薄膜.X射线光电子谱和X射线衍射分析表明,在600℃沉积温度下,Si（100）基片上获得了亚稳的具有化学计量配比成分、面心立方结构的γ-Al₂O₃薄膜.薄膜的折射率为1.7,与稳定的α-Al_2<...

关键词: 氧化铝薄膜 , plasma source , magnetron sputtering , refractive index

GeS₂-Ga₂S₃-AgCl玻璃的光学特性研究

范鑫烨 , 徐铁峰 , 沈祥 , 戴世勋 , 聂秋华 , 王训四 , 陈飞飞

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2010.00191

采用熔融淬冷法制备了摩尔组成为（100-x）(0.85GeS₂-0.15Ga₂S₃)-xAgCl（x=0,5,10,15,20）硫卤玻璃,...

关键词: 硫卤玻璃 , optical band gap , refractive index , Urbach energy , thirdorder nonlinearity

水热合成法制备纳米CeO2薄膜及其抗紫外性能研究

刘连利 , 刘玉静 , 孙彤 , 徐姝颖 , 王莉丽 , 周丽

稀有金属材料与工程

以硝酸铈和尿素为原料,采用水热合成法在玻璃基底上制备了具有高反射率和良好抗紫外性能的CeO2薄膜,并采用SEM、XRD、FT-IR、椭圆偏振仪和UV-vis对薄膜和同时制备的粉体进行了表征,研究了Ce(Ⅲ)浓度和尿素加入量对薄膜的影响.结果表明,当Ce(Ⅲ)浓度和尿素加入量较小时,薄膜光滑且沉积颗粒...

关键词: 氧化铈薄膜 , 水热合成 , 反射率 , 紫外

PbWO4晶体的太赫兹光谱

孙桂芳 , 王雅丽 , 钱霞 , 侯碧辉

人工晶体学报

测量了室温下钨酸铅(PbWO4,PWO)晶体在0.1～3 THz的太赫兹时域光谱.分析表明:在0.2～0.9THz范围内,晶体的吸收系数小于30 cm-,有较好的透射性,在0.4 ～0.6 THz有一个较弱的泛频共振吸收峰;折射率在2～6之间变化,0.36 ～0.9 THz是一个明显的反常色散区域;...

关键词: 太赫兹时域光谱 , 钨酸铅晶体 , 折射率 , 介电函数

Sb对GeSbxSe7-x硫系玻璃的结构和物性的影响

魏文猴 , 方亮 , 杨志勇 , 沈祥

无机材料学报 doi:10.15541/jim20140097

采用熔融-淬冷法制备了GeSbxSe7-x0=0.4、0.8、1.2、1.6、2.0)系列硫系玻璃,并系统地研究了Sb对玻璃结构和物理性能的影响.拉曼光谱测试结果显示,随着Sb含量增加,玻璃结构逐渐从由Se链或Se环主导转变为由交联的SbSe3/2三角锥结构单元和GeSe4/2四面体结构单元主导,玻...

关键词: Ge-Sb-Se , 硫系玻璃 , 拉曼光谱 , 弹性模量 , 折射率 , 玻璃转变

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