符云飞
,
樊慧庆
,
邓永丽
,
陈晋
无机材料学报
doi:10.3724/SP.J.1077.2008.00687
采用电泳沉积法在Pt/Ti/SiO2/Si基底上制备了厚度为33μm的Ba0.6Sr0.4TiO3(BST40)厚膜, 研究了其介电调谐特性、漏电流特性和铁电特性. 实验结果表明: 采用水热法制备纳米BST40粒子, 经250MPa高压压制, 950℃热处理后, BST40厚膜可形成完整的立方钙钛矿结构且表面致密、无裂纹. ε-V特性表明, 1kHz时厚膜调谐率可达59.2％. I-V特性表明, 当电压从--25～25V变化时, 漏导电流<100μA/cm2. 测量了在1kHz, 不同温度下厚膜的电滞回线. 在0℃时, 其剩余极化强度为1.06μC/cm2.
关键词:
BST厚膜
,
EPD
,
tunability
,
remnant polarization
