张杰
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倪屹
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刘棋奇
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马文成
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李留臣
人工晶体学报
通过有限元分析方法对三维温度梯度法(3DGF)单晶炉内的温场进行数值模拟计算,发现固液交界面附近存在较大的温度梯度,易导致晶体开裂;通过改进坩埚内壁锥度,调整底部隔热屏的结构,选择合适的降温程序取得了较好的实验效果.结果表明,在三维温度梯度法蓝宝石晶体生长过程中,合适的温度梯度和控温程序能够缩短生长周期,提高晶体质量.
关键词:
3DGF法
,
蓝宝石
,
数值模拟
,
有限元
孙孪鸿
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徐家跃
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邹军
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王凤超
硅酸盐通报
在传统的衬底上生长出的GaN都是沿着极性轴c轴方向的,非极性GaN薄膜克服了极性薄膜中因为产生内建电场而带来的发光效率和结晶质量的问题.本文主要介绍了非极性GaN薄膜的结构特性、薄膜的制备方法、不同衬底上生长非极性GaN薄膜的研究进展及其器件应用.
关键词:
非极性GaN
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蓝宝石
,
同质外延
,
GaN基器件
