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BaPbO₃ 导电薄膜的制备、结构及性能研究

陆裕东 , 王歆 , 庄志强

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2007.00138

以可溶性无机盐为原料, EDTA 、柠檬酸、酒石酸为复合螯合剂, 水为溶剂, 采用改进的溶胶-凝胶法制备了无裂纹、晶粒尺寸小且均匀分布的钙钛矿结构的BaPbO₃ 导电薄膜. 利用XRD、SEM和EDS表征方法结合薄膜方阻的测定, 具体分析了Pb/Ba比和晶粒生长情况对BaPbO₃ 薄膜导电性能的影响. 实验结果表明: Pb/Ba比和晶粒生长情况是决定BaPbO₃薄膜导电性的两个主要因素, Pb/Ba比的上升和晶粒的长大, 都会提高BaPbO₃薄膜的导电性能; 热处理次数对BaPbO₃ 薄膜方阻的影响与薄膜厚度有关. 在700℃下保温10min的快速热处理方法, 可以获得钙钛矿结构、薄膜方阻为5.86 Ω﹒□^-1 的BaPbO₃ 薄膜.

关键词: BaPbO3 , ceramic , thin film , sol-gel , sheet resistance

有机载体对铁酸锶镧薄膜形貌和性能的影响

崔雪英 , 李胜利 , 孙良成 , 朱新德

稀土

采用丝网印刷法在氧化铝基底上制备了La0.6Sr0.4FeO3薄膜.利用扫描电镜、流变仪、X射线衍射仪、红外光谱仪、四探针和划痕仪研究了有机载体配比对薄膜成膜效果、浆料粘度、电阻均匀性和与基底结合强度等的影响.结果表明,松油醇和乙基纤维素(EC)的配比对浆料成膜效果影响显著,加入60％松油醇时,薄膜较为平整,但裂纹较多.当加入乙基纤维素(EC)2％～3％时,浆料粘度提高为0.23 Pa.s和0.55 Pa.s,最有利于薄膜印刷,且膜裂纹少,膜层均匀连续;烧结后的薄膜为单一的钙钛矿相,且Fe-O键比粉体的结合强;并且薄膜方阻均匀,与基底的结合力强.因此松油醇含量60％、EC加入量2％ ～3％的铁酸锶镧浆料最适于丝网印刷成膜.

关键词: 铁酸锶镧 , 有机载体 , 丝网印刷 , 微观形貌 , 方块电阻

氧离子后处理对氧化铟锡(ITO)薄膜电学和光学性能的影响

郭向茹 , 周灵平 , 彭坤 , 朱家俊 , 李德意

人工晶体学报

采用氧离子束对电子束蒸发制备且退火后的氧化铟锡(ITO)薄膜进行轰击后处理.经XPS检测发现氧元素在薄膜内含量增加,在深度方向上的梯度差下降.表面Sn4+含量增加,即掺杂离子浓度和载流子浓度提高,从而使薄膜方块电阻显著降低.当氧离子继续轰击时,薄膜的方块电阻保持平稳;同时,透过率曲线蓝移,紫外波段(300～400 nm)的平均透过率提高而可见光范围内(400 ～800 nm)的平均透过率略有下降,这种变化缘于薄膜的禁带宽度与折射率的增加.

关键词: ITO薄膜 , 电子束蒸发 , 氧离子束 , 方块电阻 , 透过率

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