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研磨方式对单晶蓝宝石亚表面损伤层深度的影响

王建彬 , 朱永伟 , 王加顺 , 徐俊 , 左敦稳

人工晶体学报

研磨过程中产生的亚表面损伤层深度是影响单晶蓝宝石抛光质量的关键因素.本文开展了游离磨料和固结磨料两种研磨方式研磨单晶蓝宝石的实验研究,采用三维形貌仪观察了加工前后的工件表面质量,运用差动腐蚀法比较了研磨方式对研磨后工件亚表面损伤层深度的影响.结果表明,金刚石磨料粒径分别为W 50和W 14的游离磨料...

关键词: 单晶蓝宝石 , 固结磨料 , 游离磨料 , 亚表面损伤层深度 , 表面粗糙度