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聚焦脉冲激光作用下Ge₂Sb₂Te₅薄膜晶化过程及机理

魏劲松 , 阮昊 , 干福熹

无机材料学报

采用聚焦脉冲激光研究了Ge₂Sb₂Te₅薄膜在沉积和激光淬火两种非晶态下反射率与激光脉冲宽度变化的关系,发现沉积态的Ge₂Sb₂Te₅薄膜在晶化触发阶段内的反射率随激光...

关键词: Ge₂Sb₂Te₅ , thin films , crystallization , pulsed laser , super-saturation degree