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超硬纳米多层膜致硬机理研究

杜会静 , 田永君

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2006.00769

本文综述了近年来纳米多层膜界面微结构及超硬效应的研究进展, 表明纳米多层膜硬化的主要机制和位错的运动相关, 晶格错配引起的交变应变场对硬化起次要作用, 模量差异致硬起主要作
用. 指出了超硬纳米多层膜研究所存在的问题以及未来的发展方向.

关键词: 纳米多层膜 , superhadness effect