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AlN/SiO₂纳米多层膜的超硬效应与高温抗氧化性

吴莹 , 赵文济 , 孔明 , 黄碧龙 , 李戈扬

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2008.00562

采用反应磁控溅射法制备了一系列不同SiO₂层厚的AlN/SiO₂纳米多层膜, 利用X射线衍射仪、高分辨透射电子显微镜、扫描电子显微镜和微力学探针表征了多层膜的微结构和力学性能, 研究了多层膜微结构与力学性能随SiO₂ 层厚的变化, 考...

关键词: AlN/SiO₂纳米多层膜 , epitaxial growth , superhardness effect , oxidation resistance

陶瓷硬质纳米多层膜研究进展

孔明 , 岳建岭 , 李戈扬

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2010.00113

陶瓷纳米多层膜因具超硬效应而成为近年的研究热点. 本文对这类人工材料的研究进展和存在的不足进行了评述, 并展望了进一步研究的方向. 二十年来, 陶瓷纳米多层膜的实验研究已取得明显进展：在微结构特征方面, 两调制层形成共格外延生长结构是纳米多层膜产生超硬效应的...

关键词: 纳米多层膜 , superhardness effect , coherent growth , template effect , hardening mechanism

纳米多层膜中的非晶晶化与超硬效应

孔明 , 岳建岭 , 李戈扬

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2006.01292

通过对TiN/SiC、TiN/TiB₂和TiN/SiO₂纳米多层膜微结构和力学性能的研究, 展示了通常溅射沉积态为非晶的SiC、TiB2和SiO₂薄膜, 在立方结构的TiN晶体层模板作用下的晶化现象, 以及多层膜由此产生的生长结构和力...

关键词: 纳米多层膜 , epitaxial growth , crystallization of amorphous , superhardness effect

TiN/Si₃N₄纳米晶复合膜的微结构和强化机制

孔明 , 赵文济 , 乌晓燕 , 魏仑 , 李戈扬

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2007.00539

采用高分辨透射电子显微镜对高硬度的TiN/Si3N4纳米晶复合膜的观察发现, 这类薄膜的微结构与Veprek提出的nc-TiN/a-Si₃N₄模型有很大不同: 复合膜中的TiN晶粒为平均直径约10nm的柱状晶, 存在于柱晶之间的Si₃...

关键词: TiN/Si3N4纳米晶复合膜 , TiN/Si3N4 nanomultilayers , interfacial phase , crystallization , superhardness effect

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