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氧化铟薄膜制备及其特性研究

原子健 , 朱夏明 , 王雄 , 张莹莹 , 万正芬 , 邱东江 , 吴惠桢 , 杜滨阳

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2010.00141

采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备氧化铟薄膜, 通过测试原子力显微镜、X射线衍射、X射线光电子谱、紫外可见分光光度计以及霍尔效应, 研究了氧化铟薄膜的结构和光、电特性. 实验发现, 氧化铟薄膜表面粗糙度随着生长温度的升高而增大. X射线衍射结果表明薄膜为立方...

关键词: 氧化铟 , RF magnetron sputtering , surface morphology , XRD , electrical properties

SiO₂薄膜对蓝宝石表面及高温强度的改善

冯丽萍 , 刘正堂

无机材料学报

蓝宝石具有一系列优异的光学和力学性能, 使其成为红外透过窗口与头罩中备受青睐的材料. 然而随温度的升高蓝宝石沿c轴的抗压强度急剧降低, 大大限制了蓝宝石的抗热震等许多
性能. 提高蓝宝石高温强度的研究已成为蓝宝石在高速、高温应用中一个亟待解决的重要课题. 本文采用射频磁控反应溅射法在蓝宝石衬...

关键词: 蓝宝石 , SiO₂ film , surface morphology , high-temperature strength

低压CVD氮化硅薄膜的沉积速率和表面形貌

刘学建 , 金承钰 , 张俊计 , 黄智勇 , 黄莉萍

无机材料学报

以三氯硅烷(TCS)和氨气分别作为低压化学气相沉积(LPCVD)氮化硅薄膜(SiN_x)的硅源和氮源,以高纯氮气为载气,在热壁型管式反应炉中,借助椭圆偏振仪和原子力显微镜,系统考察了工作总压力、反应温度、气体原料组成等工艺因素对SiN_x

关键词: LPCVD , silicon nitride thin films , growth rate , surface morphology

脉冲频率对纯钛微弧氧化膜生长特性的影响

李全军 , 吴汉华 , 汪剑波 , 顾广瑞 , 金曾孙

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2006.00488

在Na₂CO₃-Na₂SiO₃电解液中, 利用微弧氧化技术在纯钛试样表面制备了氧化膜, 并研究了脉冲频率(500～8000Hz)对膜层生长、相组成及表面形貌的影响. 结果...

关键词: 微弧氧化 , pulse frequency , surface morphology , phase component

铝合金微弧氧化陶瓷膜形成过程中的特性研究

吴汉华 , 于凤荣 , 李俊杰 , 吕宪义 , 金曾孙

无机材料学报

保持交流电压脉冲幅度不变,对浸在硅酸钠和氢氧化钠溶液中的铝合金样品进行了微弧氧化处理,发现在陶瓷膜形成过程中,样品的电流随时间明显分成五个不同阶段.对应各阶段所制备的陶瓷膜分别用扫描电镜和X射线衍射仪进行了分析,结果表明,铝合金微弧氧化陶瓷膜主要由γ-Al₂O₃

关键词: 微弧氧化 , ceramic coatings , surface morphology , phase component

Al管表面有机杂化膜的制备及性能表征

梁永煌满瑞林

金属学报 doi:10.3724/SP.J.1037.2010.00258

通过化学浸渍在Al管表面钝化生成一层致密疏水的有机杂化膜. 硫酸铜点滴实验、析氢实验和铜盐加速乙酸盐雾试验都表明, 杂化膜显著提高了Al管的耐腐蚀性能,耐蚀效果超过了铬酸盐钝化膜. 电化学Tafel极化曲线和交流阻抗谱(EIS)测定表明, 杂化膜使Al的自腐蚀电位正移, 阻抗值增大, 自腐蚀电流密度...

关键词: Al管 , organic hybrid film , corrosion resistance , electrochemical property , surface morphology , mechanism

Cu薄膜生长过程的Monte Carlo模拟

王炫力 , 陈冷

人工晶体学报

用动力学晶格蒙特卡洛模型(Kinetic Lattice Monte Carlo,KLMC)模拟Cu薄膜的生长过程,讨论了基底温度、沉积原子数、单原子最大迁移步数和原子相互作用范围等参数对薄膜表面形貌的影响,并与实验结果进行了比较.结果表明:基底温度升高或沉积原子数增加时,沉积在基底上的原子逐步由众...

关键词: KLMC模型 , 薄膜生长过程 , 表面形貌 , Cu薄膜

ATOMIC FORCE MICROSCOPY OBSERVATION OF MAGNETRON SPUTTERED ALUMINUM-SILICON ALLOY FILMS

金属学报(英文版)

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关键词: :magnetron sputtering , null , null , null , null