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铜基体上CVD金刚石厚膜的制备

马丙现 , 姚宁 , 杨仕娥 , 高关胤 , 张兵临

无机材料学报

用MWCVD方法在无预处理铜基体上获得了金刚石薄膜和厚膜。所得金刚石膜从基体上自动脱落,但形貌分析和Ramman分析表明,所得金刚石膜具有较好的质量。因此铜是制备金刚石厚膜的理想基体材料。

关键词: CVD , thick diamond film , copper substrate