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PLD法制备TiO₂薄膜及电阻转变特性研究

曹逊 , 李效民 , 于伟东 , 张亦文

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2009.00049

采用脉冲激光沉积法（PLD），以Pt(111)/Ti/SiO₂/Si为衬底，制备了具有电阻转变特性的TiO₂薄膜.X射线衍射（XRD）分析未发现明显的TiO₂结晶峰，薄膜呈纳米晶或非晶态.扫描电子显微镜（SEM）及原子力显微镜（AFM...

关键词: 脉冲激光沉积法 , unipolar , resistive switching behaviors , titanium oxide films