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电泳沉积法制备Ba_0.6Sr_0.4TiO₃厚膜及其电学性能研究

符云飞 , 樊慧庆 , 邓永丽 , 陈晋

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2008.00687

采用电泳沉积法在Pt/Ti/SiO₂/Si基底上制备了厚度为33μm的Ba_0.6Sr_0.4TiO₃(BST40)厚膜, 研究了其介电调谐特性、漏电流特性和铁电特性. 实验结果表明: 采用水热法制备纳米BST40粒...

关键词: BST厚膜 , EPD , tunability , remnant polarization