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CVD自支撑金刚石薄膜中的宏观织构与微观孪晶

毛卫民 , 朱宏喜 , 陈冷 , 冯惠平 , 吕反修

无机材料学报

采用背散射电子取向成像、扫描电镜、X射线衍射等手段研究了CVD自支撑金刚石膜的宏观织构、微观组织及晶粒取向的演化过程. 薄膜制备时的气氛纯度较低, 这是引起本文金刚石膜中发现大量孪晶的一个重要原因. 杂质原子会降低金刚石的层错能, 从而降低孪晶界的形成障碍, 促进孪晶生成. 频繁的孪晶导致{100}...

关键词: 金刚石膜 , texture , microstructure , twins