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大尺寸CVD金刚石厚膜的制备及应用

王兵 , 冉均国 , 梅军 , 李力 , 季锡林

无机材料学报

采用电子辅助化学气相沉积法(EACVD)制备了直径120mm、厚度1mm以上的大尺寸金刚石厚膜,这是国内已见报道的最大成膜尺寸.SEM和Raman光谱分析表明它是一种纯晶质的多晶金刚石材料;其硬度接近天然金刚石,远高于聚晶金刚石.将这种材料加工成拉丝模具,现场拉丝结果表明其拉丝效果与天然金刚石和进口优质聚晶相当,优于国产聚晶.用这种金刚石制成的拉丝模具可广泛用于拉制钨、钼、铜和不锈钢丝.

关键词: CVD金刚石厚膜 , electron assistant , wire die

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