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ZnO陶瓷靶制备及其薄膜 RF溅射工艺研究

陈祝 , 张树人 , 杜善义 , 杨成韬 , 郑泽渔 , 李波 , 孙明霞

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2006.01011

利用固相反应制备了直径为70mm, 厚度为10～15mm高质量掺杂Li₂CO₂的ZnO陶瓷靶材, 实验了不同摩尔浓度的Li⁺掺杂对靶材性能的影响, 确定了最佳Li⁺掺杂量...

关键词: 陶瓷靶 , zinc oxide films , RF magnetron sputtering , preferred orientation