材料期刊网

0-3法制备PZT厚膜及其性能研究

任伟 , 赵修臣 , 李俊红 , 汪承灏

人工晶体学报

采用0-3复合法制备PZT(PbZr0.52Ti0.48O3)厚膜,通过陈化、静置、去除沉淀颗粒、浓缩等方法改良了浆料配制工艺,大大改善了厚膜的表面粗糙度,制备出适于微压电换能器使用的PZT厚膜.采用单层退火的方式对厚膜进行了结晶热处理,研究了不同结晶温度对厚膜性能的影响.结果表明:改良的浆料配制工...

关键词: PZT厚膜 , 0-3法 , 结晶温度 , 粗糙度