蒋礼
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宋少杰
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杜作娟
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黄小忠
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刘冀洵
表面技术
以普通载玻片为基体,采用溶胶-凝胶法制备了Ti02/Si02一维光子晶体,对该结构的截面形貌、各层厚度及结晶形态、反射谱特性进行了分析.结果表明:TiO2和SiO2膜的平均厚度分别为69 nm和83 nm,结晶形态分别为锐钛矿和无定形态；该结构在波长544 nm处的反射率达到了94％,且其FWHM=194 nm(486～ 680nm).运用传输矩阵法对该结构进行仿真计算,得到的计算结果与测试结果趋于一致.最后讨论了入射角对一维光子晶体反射谱的影响.
关键词:
溶胶-凝胶法
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一维光子晶体
,
反射光谱
