贾志宏
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王雪丽
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邢远
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刘莹莹
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刘庆
中国材料进展
聚焦离子束技术凭借其独特的微纳尺度制造能力和优势，已成为纳米科技工作者不可或缺的工具之一。随着新型FIB硬件设备的多功能化， FIB三维表征技术的不断完善，使 FIB三维表征技术在材料研究领域的应用更加广泛和深入。与其他三维表征技术相比， FIB 三维表征技术具有控制精度高、分析微观区域大、分辨率高等特点。 FIB 技术与 SIMS、 SEM、EDX、 EBSD等系统的结合，可对不同材料进行三维空间状态下的形貌、成分、取向等信息的分析。文章简要概述了3 D-SIMS、3D-Imaging/EDX、3D-EBSD 4种基于FIB的三维表征技术，具体包括 FIB 三维表征技术的成像-切割的原理及过程。综述了几种不同表征手段在各种材料中的应用和发展。最后指出FIB 三维表征技术在应用中的一些不足并对该技术发展方向进行了展望。
关键词:
FIB三维表征技术
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3D-SIMS
,
3D-Imaging
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3D-EDX
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3D-EBSD
