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基于 FIB 的三维表征分析技术及应用进展

贾志宏 , 王雪丽 , 邢远 , 刘莹莹 , 刘庆

中国材料进展

聚焦离子束技术凭借其独特的微纳尺度制造能力和优势，已成为纳米科技工作者不可或缺的工具之一。随着新型FIB硬件设备的多功能化， FIB三维表征技术的不断完善，使 FIB三维表征技术在材料研究领域的应用更加广泛和深入。与其他三维表征技术相比， FIB 三维表征技术具有控制精度高、分析微观区域大、分辨率高...

关键词: FIB三维表征技术 , 3D-SIMS , 3D-Imaging , 3D-EDX , 3D-EBSD