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非晶含氟聚合物薄膜的热稳定性

丁士进 , 王鹏飞 , 张剑云 , 张卫 , 王季陶 , 张冶文 , 夏钟福

材料研究学报 doi:10.3321/j.issn:1005-3093.2001.02.008

以Teflon AF 1600为原料,用旋涂法制备了非晶含氟聚合物(AF)薄膜通过扫描电镜(SEM)、傅立叶转换红外(FTIR)光谱和X射线光电子(XPS)光谱等手段对热退火前后的薄膜进行了表征.所得薄膜具有无针孔,较光滑和平整的表面,300℃退火后薄膜表面的均匀性进一步改善.AF薄膜在300℃以下具有良好的热稳定性,在400℃退火后CF3吸收峰强度稍有降低.在400 ℃退火后,其所含的CF3键合构型显著降低,CF2、CF等其它构型没有明显的变化,由于CF3基剖的分解有少量无定型碳生成

关键词: 旋涂 , AF薄膜 , 热稳定性

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