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Mo电极形貌对AIN薄膜择优取向生长的影响

熊娟 , 顾豪爽 , 胡宽

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2010.02.018

采用射频磁控溅射方法在不同形貌的Mo电极上制备了(002)择优取向的AIN薄膜.采用XRD、FESEM表征了Mo电极及AIN薄膜的结构、表面形貌及择优取向.结果表明,Mo电极的形貌影响AIN薄膜的择优取向生长,在较高溅射气压下沉积的Mo电极晶粒细小、分布均匀,有助于AIN薄膜(002)择优取向生长.

关键词: 磁控溅射 , Mo电极 , AIN薄膜 , 择优取向

AIN薄膜的成分、相结构和氧化性能

夏立芳 , 王佐诚 , 孙跃 , 马欣新 , 陈士芳

材料研究学报

用X射线光电子能谱(XPS)剥层分析方法,研究AIN薄膜在大气中加热时的氧化性能.结果表明,常温时AIN薄膜稳定;在700℃加热时,Al2O3膜开始增厚.AIN被氧化;加热温度愈高,AIN被氧化得愈剧烈.

关键词: AIN薄膜 , null

电弧离子镀制备透明(002)AIN薄膜

邱万奇 , 阎明

稀有金属材料与工程

在电弧离子镀弧靶上加挡板,分别在挡板屏蔽区内、外用Si(100)和玻璃片作基片沉积出AlN薄膜.用扫描电镜(SEM),X射线衍射仪(XRD),X射线光电子能谱分析仪(XPS)和紫外可见光分光计对AIN薄膜的性能进行了研究.结果表明,在挡板屏蔽区内沉积出的AIN薄膜呈(002)择优取向,无大颗粒污染,在300～1000nm波长范围内透明;在挡板屏蔽区外的AIN薄膜呈(100)择优取向,含有A1污染颗粒,不透明.用电弧离子镀法沉积AIN,样品不需要额外加热就能获得晶态AIN薄膜,样品的温度升高来源于粒子对基底的轰击.

关键词: 电弧离子镀 , AIN薄膜 , 挡板

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