孟军霞
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马全新
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王超
材料导报
采用射频磁控溅射方法在玻璃和硅衬底上制备出Al掺杂ZnO(AZO)薄膜.利用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和光致荧光发光(PL)等系统研究了不同Al掺杂量对ZnO薄膜的结晶性能、表面形貌和光学特性等的影响.结果显示,硅衬底和玻璃衬底均出现了(100)和(002)衍射峰,玻璃的(002...
关键词:
磁控溅射法
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AZO薄膜
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结构特性
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光学特性
周宏明
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易丹青
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余志明
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肖来荣
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李荐
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王斌
金属学报
采用溶胶-凝胶法制备了ZnO∶Al(AZO)透明导电薄膜.通过X射线衍射(XRD)、紫外-可见分光光度计(UV-Vis)、扫描电镜(SEM)和电阻测量装置, 考察了Al掺杂量、退火温度及镀膜层数等工艺参数对薄膜的微观结构和光电性能的影响. 结果表明,退火温度越高, 多晶AZO薄膜的(001)晶面择优...
关键词:
ZnO∶Al(AZO)薄膜
,
Sol-gel
方华靖
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严清峰
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王晓青
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沈德忠
人工晶体学报
通过水热生长的预处理步骤在普通玻璃载玻片表面铺设种子层,然后采用旋涂法在处理好的衬底上涂覆前驱体溶胶,成功地制备出沿(002)晶面择优取向生长的Al掺杂的ZnO薄膜(AZO)薄膜.利用X射线衍射分析、扫描电镜表征薄膜形貌,并测定薄膜的透射率及电阻率.研究了种子层对AZO薄膜结晶性能、表面形貌及光电性...
关键词:
AZO薄膜
,
种子层
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溶胶凝胶
,
光电性能
