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低温沉积银和银铜薄膜的耐原子氧性能

高晓明 , 孙嘉奕 , 胡明 , 翁立军 , 伏彦龙 , 杨军 , 谭洪根 , 张良俊

机械工程材料

采用多弧离子镀方法在低温(173 K)下沉积了银和银铜薄膜,通过地面原子氧模拟试验系统考察了薄膜的耐原子氧性能,通过X射线衍射仪(XRD)和原子力显微镜(AFM)对薄膜的结构和耐原子氧性能进行了分析,并与室温下沉积的银薄膜进行了比较.结果表明:低温沉积和铜元素合金化,可减小银薄膜的晶粒尺寸,并提高其...

关键词: 低温沉积 , 银铜薄膜 , 耐原子氧性能