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余凤斌 , 夏祥华 , 朱德明 , 夏伟 , 冯立明
中国材料进展
利用磁控溅射法和电子束蒸发法在聚酰亚胺(PI)薄膜基底上沉积了铝功能膜.测试了两种方法薄膜的膜厚、附着力、反射率、折射率和电导率.结果表明,磁控溅射法制备的铝膜的综合性能较电子束蒸制备的铝膜的性能优越.
关键词: 电子束蒸发 , 磁控溅射 , Al/PI膜 , 性能
