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掺杂浓度对Al-F共掺杂ZnO透明导电薄膜性能的影响

吕珺 , 周丽萍 , 汪冬梅 , 吴玉程 , 郑治祥

材料热处理学报

通过溶胶-凝胶法制备了不同Al-F掺杂浓度的ZnO薄膜,研究了薄膜的晶体结构、表面形貌、电阻率和透光性随着掺杂浓度的变化情况.结果表明:制备的ZnO:F:Al薄膜具有高度的C轴择优取向性,薄膜表面平整、晶粒均匀致密.当Al3+和F-的掺杂浓度皆为0.75at%时,薄膜的平均品粒尺寸最大为43.8nm...

关键词: ZnO薄膜 , 溶胶-凝胶 , Al-F共掺杂 , 掺杂浓度 , 光电性能