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利用钛过渡层及掺钼改善声表面波器件用铝薄膜的微结构与性能

李冬梅 , 王旭波 , 潘峰

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2005.05.033

纯铝薄膜以其低声阻抗特性被广泛应用于声表面波(SAW)器件的制作.随着通讯频率的不断提高, 对SAW器件用Al薄膜的功率承受力以及与基体的附着力提出了越来越高的要求.采用少量易于反应离子刻蚀的Mo元素掺杂来改善Al合金的抗电迁移和功率承受力, 并以数纳米的Ti过渡层增强Al-Mo合金薄膜的取向性.结...

关键词: Al-Mo薄膜 , Ti过渡层 , 附着力 , 声表面波