罗小秋
,
黄志荣
,
孙启凤
,
顾军
,
程秀玲
腐蚀与防护
doi:10.3969/j.issn.1005-748X.2008.03.011
采用金属有机化学气相沉积法(MOCVD)在HP40)钢表面制备了Al2O3薄膜,通过EDS能谱分析和扫描电镜(SEM)测试分析了涂层的微观组织和表面形貌.结果表明,该薄膜在乙烯裂解的高温条件下抑制结焦率为65%左右,Al2O3薄膜大大提高了HP40钢的抗结焦能力.
关键词:
Al2O3薄膜
,
化学气相沉积
,
HP40钢
,
结焦
刘红飞
,
程晓农
,
徐桂芳
,
张志萍
,
付廷波
材料开发与应用
doi:10.3969/j.issn.1003-1545.2007.01.002
以α-Al2O3为靶材,采用射频磁控溅射法制备了非晶Al2O3薄膜.利用X射线衍射仪、扫描电镜、划痕仪、表面粗糙轮廓仪和阻抗仪研究了不同溅射功率和不同溅射气压对薄膜制备的影响,探索了不同溅射功率下制备的Al2O3薄膜的介电常数和介电损耗与频率的关系.试验结果表明,制备的非晶Al2O3薄膜表面平滑致密;随着工作气压的增加,薄膜沉积速率增加;随着溅射功率的增加,Al2O3薄膜的沉积速率和介电常数逐渐增加、介电损耗逐渐减小;随着频率的增加,Al2O3薄膜的介电常数逐渐减小,高频阶段趋于稳定.
关键词:
Al2O3薄膜
,
RF磁控溅射
,
沉积速率
,
介电损耗
,
介电常数
张勤俭
,
张建华
,
李敏
,
张勤河
,
毕进子
,
张代林
,
任升峰
,
胡玉景
机械工程材料
doi:10.3969/j.issn.1000-3738.2002.03.006
用无机盐先驱体,溶胶-凝胶工艺在氧化铝基工程陶瓷上成功制备了Al2O3薄膜.用差热分析(DTA)、扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、二次离子质谱(SIMS)等手段对Al2O3薄膜的物相组成、表面和断面形貌及界面结构进行了分析.结果表明:制备的薄膜完整,内部无明显的宏观缺陷;Al2O3晶粒均匀,主要物相为α-Al2O3;基体中的元素在薄膜中有明显的扩散,有助于提高界面结合强度.
关键词:
无机盐先驱体
,
溶胶-凝胶法
,
Al2O3薄膜
,
界面
田珊珊
,
魏志鹏
,
赵海峰
,
高娴
,
方铉
,
唐吉龙
,
楚学影
,
方芳
,
李金华
材料导报
利用原子层沉积法(ALD)在硫钝化后的n型InP表面沉积Al2 O3薄膜进行二次钝化处理.通过光致发光(PL)测试和原子力显微镜(AFM)测试对样品的光学性质及表面形貌进行表征.硫钝化能够有效降低样品的表面态密度及无辐射复合几率,因此样品PL发光强度得到了极大提高.而样品表面的Al2 O3可防止钝化层被氧化,尽管相对于沉积Al2 O3薄膜前样品的光致发光强度有所降低,但样品的稳定性得到了改善,因此可进一步提高样品的发光性能.
关键词:
InP
,
光致发光
,
硫钝化
,
表面态密度
,
Al2O3薄膜
何蕾
,
王倩
,
许思友
,
贾丽娟
,
王磊
材料导报
高能氢离子束溅射金属铝靶,沉积在单晶Si基片上的非晶薄膜是Al和Al2O3的混合物.在空气中对其进行900～1200℃的热处理,成功地制备了以不同结晶形式存在的多晶Al2 O3薄膜,讨论了不同退火温度对其结晶性能、表面形貌及红外吸收光谱的影响.为Al2O3薄膜制备与应用提供了良好借鉴.
关键词:
Al2O3薄膜
,
溅射
,
退火
,
多晶
邵红红
,
王季
,
王晓静
,
于春杭
,
顾冬青
功能材料
采用射频磁控溅射法在40Cr基体上制备了非晶态Al2O3薄膜,并研究了工艺参数(溅射功率,工作气压,溅射时间)、预处理工艺以及中间层对薄膜结合性能的影响.试验结果表明,采用射频溅射法,在功率为250W、工作气压为5.0Pa、时间为3h条件下制备的薄膜结合力最好.基体经过腐蚀预处理和加入镍磷中间层均能改善膜基结合力,后者效果更显著.
关键词:
射频磁控溅射
,
Al2O3薄膜
,
非晶态
,
结合力
,
Ni-P中间层
李想
,
颜钟惠
,
刘阳辉
,
竺立强
材料导报
以三甲基铝(TMA)和水为反应源,采用原子层沉积(ALD)技术在n型单晶硅表面沉积15 nm、30 nm和100 nm的Al2O3薄膜,并对样品进行快速退火(RTA)处理.采用少子寿命测试仪测试样品的有效少子寿命,获得了表面复合速率(SRV),通过X射线光电子能谱(XPS)分析了薄膜的化学成分,在此基础上研究了薄膜厚度及退火条件对钝化效果的影响,并分析了钝化机理.结果表明:ALD技术制备的Al2O3薄膜经退火后可使n型单晶硅SRV值降低到7 cm/s,表面钝化效果显著.
关键词:
太阳能电池
,
晶体硅钝化
,
原子层沉积
,
Al2O3薄膜
柳阳
,
王东坡
,
邓彩艳
,
曹舒
材料工程
doi:10.11868/j.issn.1001-4381.2015.07.002
运用超声滚压处理(USRP)的方法,在Ti-6Al-4V合金表面制得一层Al2O3薄膜.利用SEM、XRD、光学干涉仪及显微硬度计分析了超声滚压处理后试样表面层的微观组织和性能.结果表明:加入Al2O3粉末进行USRP后可以在基体金属表面形成厚度约为7μm的Al2O3膜层,且结合处基体金属存在残余压应力和塑性变形.相对于母材,处理后试样表面粗糙度降低50％,表面硬度提高98％.同时,处理后试样表面层存在残余压应力场,最大压应力值为-687MPa,位于最表层,残余压应力深度为420μm.加入Al2O3粉末的USRP后的试样,既利用表面Al2O3的加入进一步提高其表面硬度,同时保留了USRP的优势.
关键词:
Ti-6Al-4V
,
超声滚压处理
,
Al2O3薄膜
,
残余压应力
黄志荣
,
孙启凤
,
罗小秋
材料工程
doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2008.02.005
以仲丁醇铝(ATSB)为前驱物、氮气为载气,用金属有机化学气相沉积法(MOCVD)在HP40钢表面沉积了Al2O3薄膜.采用光学金相显微镜(OM)、扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)等仪器设备,研究了Al2O3薄膜组织结构及其抑制结焦的能力.实验结果表明,当沉积温度为350℃,以ATSB为前驱物在HP40钢表面制备了纳米晶Al2O3薄膜,该薄膜具有表面平整、均匀、致密的特点,且具有明显抑制结焦作用,结焦抑制率达到52.4%以上.
关键词:
Al2O3薄膜
,
结焦
,
金属有机化学气相沉积
,
裂解炉
,
HP40钢
宋博
,
赵丽丽
,
陈笑迎
,
游丽君
,
宋力昕
无机材料学报
doi:10.15541/jim20160030
采用电子束蒸镀技术在氟化镁基底上制备了单层 Al2O3薄膜和含有 HfO2中间层的 HfO2/Al2O3双层薄膜。在空气中对所制备的薄膜进行1 h 600℃的退火处理。通过掠入角X射线衍射仪(GIXRD)、场发射扫描电镜(FE-SEM)、傅里叶变换红外光谱仪(FTIR)、纳米压痕和划痕法对薄膜的微观结构、红外透过率和力学性能进行了表征。结果表明：退火处理后HfO2/Al2O3双层薄膜中形成了一层树枝状的新层，这种新层的硬度大于17.5 GPa。这种高硬度的新层能够保护氟化镁基底不被划伤。从GIXRD图谱中只能找到单斜相HfO2的衍射峰，而Al2O3薄膜仍然保持非晶态。从这些结果中可以推断出HfO2从非晶态向单斜相的转变促进了这种树枝状新层的产生，也正是这种新层提高了保护薄膜的力学性能。
关键词:
HfO2中间层
,
Al2O3薄膜
,
微观组织
,
力学性能
,
氟化镁基底
