杨修春
,
DUBIEL M
,
HOFMEISTER H
,
RIEHEMANN W
,
黄文旻
无机材料学报
doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2006.03.026
利用X射线衍射,X射线吸收精细结构谱和高分辨电镜研究了激光刻蚀工艺对Al2O3-ZrO2固溶度和结晶度的影响.结果表明,Al2O3在ZrO2中的固溶度越大,ZrO2晶体结构无序度越大.样品室的空气压力越大,粉体中无定形相的含量越大.无定形ZrO2中存在短程有序-长程无序结构Zr-O-Zr(Al).同Al2O3-ZrO2固溶体相比,无定形ZrO2具有更短的Zr-O和Zr-Zr(Al)原子间距离和更大的无序度.
关键词:
激光刻蚀
,
Al2O3-ZrO2固溶度
,
结晶度
,
无序度
