金奇杰
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慕玮
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袁文杰
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李晓云
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丘泰
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杨华芳
硅酸盐通报
AlN以其优异的高热导率、与Si相匹配的热膨胀系数及其它优良的物理化学性能受到了国内外学术界的广泛关注,被誉为新一代高密度封装的首选基板材料.本文详细综述了AlN陶瓷的导热机理和无压烧结工艺等方面的研究进展,并介绍了烧结助剂的选取原则和AlN陶瓷热导率与温度的关系,以及展望了AlN基板的发展趋势和前景.
关键词:
AlN陶瓷
,
热导率
,
无压烧结
,
烧结工艺
杨清华
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李宏伟
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王焕平
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马红萍
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雷若姗
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徐时清
材料研究学报
在微米氮化铝粉体中添加含量为4％的Y2O3和不同含量的纳米AlN粉体制备氮化铝陶瓷,研究了Y2O3和纳米AlN协同作用对微米氮化铝陶瓷烧结性能和热传导性能的影响.结果表明,Y2O3优先与纳米AlN粉体表面的Al2O3反应生成活性较高的第二相Al5Y3O12,相比于Y2O3与微米AlN粉体表面Al2O3反应生成的Al5Y3O12,具有更低的熔化温度及更好的流动性;同时,纳米AlN粉体的高比表面能也促进氮化铝陶瓷的致密化进程.二者的协同作用有效地促进氮化铝陶瓷的致密烧结,改善第二相的微观分布,从而能在较低的烧结温度下获得具有较高热导率的氮化铝陶瓷.当Y2O3和纳米AlN粉体的添加量(质量分数)分别为4％和1.5％时,在1800℃烧结得到的氮化铝陶瓷密度为3.26 g·cm-3,第二相以连续相的形式分布于氮化铝晶界处,热导率为151.75 W/(m·K).
关键词:
无机非金属材料
,
氮化铝陶瓷
,
Y2O3
,
纳米AlN粉体
,
热传导
,
微观结构
