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韩爱珍 , 王喜莲 , 高元凯
功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2002.01.004
利用电共沉积技术,在简单盐和带有络合剂的盐酸溶液中,制备了AlxGa1-xAs三元化合物薄膜.用能谱分析仪测量了薄膜成分,分析结果表明,该膜为符合化学计量比的三元化合物AlxGa1-xAs半导体材料,用分光光度计对膜进行测量,在较宽光波波段获得一定的透射率.
关键词: 电共沉积 , AlxGa1-xAs三元化合物
