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AlxGa1-xN/AlN超晶格材料特性研究

谢自力 , 张荣 , 江若琏 , 刘斌 , 龚海梅 , 赵红 , 修向前 , 韩平 , 施毅 , 郑有炓

功能材料

用MOCVD 技术在(0001)蓝宝石衬底上成功研制了2寸衬底上无裂纹的AlN/Al0.3Ga0.7N超晶格材料.研究了AlxGa1-xN/AlN超晶格材料特性. 结果表明,缓冲层材料和结构对AlN/Al0.3Ga0.7N超晶格的表面型貌和界面特性有很大的影响.AFM研究表明利用GaN做支撑层生长的...

关键词: MOCVD , 超晶格 , AlxGa1-xN/AlN