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黎阳 , 高家诚
功能材料 doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2014.05.029
研究了γ辐照聚碳硅烷(polycarbosilane, PCS)先驱丝在Ar与NH3中的热解过程,探讨了气氛与温度对化学结构演变、元素组成、晶型结构和微观形貌的影响。结果表明,热解温度低于600℃时,气氛对化学结构无影响;热解温度达700℃时,Ar 中先驱丝的化学结构主要由 Si-O-Si 和 Si...
关键词: 聚碳硅烷先驱丝 , γ射线 , Ar , NH3
林晓棋 , 满卫东 , 吕继磊 , 张玮 , 江南
人工晶体学报
采用自主研发的5 kW不锈钢谐振腔式MPCVD设备,在Ar/H2/CH4气氛下,保持总气压与CH4气流量不变,研究了不同Ar/H2比例对单晶金刚石生长速度和晶体质量的影响.通过拉曼光谱与高分辨率XRD摇摆曲线,从生长速度与生长质量两点对所得样品进行分析.结果表明,适量Ar的存在能够显著提高单晶金刚石...
关键词: MPCVD , 单晶金刚石 , Ar