黎阳
,
高家诚
功能材料
doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2014.05.029
研究了γ辐照聚碳硅烷(polycarbosilane, PCS)先驱丝在Ar与NH3中的热解过程,探讨了气氛与温度对化学结构演变、元素组成、晶型结构和微观形貌的影响。结果表明,热解温度低于600℃时,气氛对化学结构无影响；热解温度达700℃时,Ar 中先驱丝的化学结构主要由 Si-O-Si 和 Si-CH2-Si 构成,而在NH3中发生了 N 与 C 的亲核取代反应,化学结构主要由 Si-O-Si、Si-N H-Si 和 Si-N H 2构成；1000℃时,Ar 中得到β-SiC 晶型的 SiC 陶瓷纤维, NH3中得到无定型Si3 N4陶瓷纤维。
关键词:
聚碳硅烷先驱丝
,
γ射线
,
Ar
,
NH3
林晓棋
,
满卫东
,
吕继磊
,
张玮
,
江南
人工晶体学报
采用自主研发的5 kW不锈钢谐振腔式MPCVD设备,在Ar/H2/CH4气氛下,保持总气压与CH4气流量不变,研究了不同Ar/H2比例对单晶金刚石生长速度和晶体质量的影响.通过拉曼光谱与高分辨率XRD摇摆曲线,从生长速度与生长质量两点对所得样品进行分析.结果表明,适量Ar的存在能够显著提高单晶金刚石的生长速度,并且不损害金刚石的晶体质量.当Ar/H2=30％时,生长速度最高,为35 μm/h.随着Ar/H2比例的进一步增加,单晶金刚石的结晶质量会有所下降,Ar/H2比例过高则会严重破坏单晶金刚石的生长.
关键词:
MPCVD
,
单晶金刚石
,
Ar
