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氩气压力对中频磁控溅射制备AZO薄膜性能的影响

张承庆 , 胡小萍 , 朱景森 , 方玲 , 李德仁 , 卢志超 , 周少雄

金属功能材料

在普通玻璃衬底上利用掺杂2%(质量)Al2O3的ZnO陶瓷靶材在中频磁控溅射设备中制备了掺铝氧化锌(ZnO∶Al,AZO)薄膜.利用XRD、XPS、紫外可见分光光度计和Hall测试系统研究了Ar气压力(0.73～2.0 Pa)对AZO透明导电薄膜结构、光学和电学性能的影响.随着Ar气压力的增大,电阻...

关键词: Ar气压力 , 中频磁控溅射 , AZO薄膜 , XPS