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正方形钛试样表面等离子体基离子注入氮的保留剂量研究

孙琦 , 夏立芳 , 马欣新

材料科学与工艺 doi:10.3969/j.issn.1005-0299.2003.03.014

为了研究靶形状对等离子体基离子注入均匀性的影响,应用Auger电子能谱(AES)剖面分析,测量并计算了正方形靶表面排布的Ti试样经氮等离子体基离子注入(PBII)的保留剂量分布.由于N的Auger电子发射能量与Ti的完全重合,而且表面氧化层对Ti的Auger跃迁产生很大的影响,因此应用AES对于氮等离子体基离子注入钛基金属进行化学分析变得较为复杂.本文探讨了一种既解决峰位重叠问题又考虑氧化层影响的方法,从而能够根据AES溅射剖面分析数据计算浓度深度曲线,并获得保留剂量.正方形靶表面不同位置处的剂量测算结果表明,靶的形状对于保留剂量有着很大的影响,造成剂量呈梯度分布.同时还发现,Ti氧化层随着保留剂量的增大而增厚.

关键词: 等离子体基离子注入 , Auger电子能谱分析 , 剂量分析 , 钛基金属

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