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热分解气氛对溶胶-凝胶法制备BLT铁电薄膜性能的影响

李建军 , 于军 , 李佳 , 王耘波 , 高俊雄 , 周文利

功能材料

研究了热分解气氛对溶胶-凝胶法制备在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上的Bi3.25La0.75Ti3O12 (BLT)薄膜铁电性能的影响.在400℃时空气或氧气气氛下热分解20min,接着在700℃时氧气气氛下退火30min.氧气气氛下的热分解能充分分解掉薄膜中的有机成分,而空气气氛下的热分解使炭、...

关键词: BLT薄膜 , 溶胶-凝胶 , 热分解