徐世友
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张溪文
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韩高荣
功能材料
以光学石英片为衬底,采用热丝-等离子体辅助化学气相沉积方法(HF-PECVD)沉积了BN1-xPx薄膜.通过X射线衍射(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)、扫描电子显微镜(SEM)、X射线能谱(EDAX)、紫外-可见(UV-VIS)等测试手段研究了薄膜的化学组成、结构以及P元素掺杂量对BN1-xPx薄膜材料光学带隙的调制规律.结果表明所沉积薄膜为B、P、N组成的三元化合物,没有相偏析,定向生长,与石英衬底结合牢固.BN1-xPx薄膜中随着磷元素相对含量的增加,其光学带隙相应窄化,即通过控制磷的掺杂量可以有效调整该薄膜材料的光学带隙.
关键词:
BN1-xPx薄膜
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磷掺杂
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光学带隙
