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Nd和Mg共掺杂钛酸铋铁电薄膜的电性能研究?

胡增顺 , 晋玉星 , 杨桦

合成材料老化与应用

利用化学溶液沉积法在Pt/Ti/SiO2/Si (100)基底和700℃条件下分别制备了Nd和Mg (不同浓度)共掺杂的钛酸铋薄膜Bi3．15Nd0．85Ti(3-x)Mg2xO12(BNTM)(x=0．00,0．06,0．10和0．14),并进行了这一系列薄膜的包括微结构、介电、铁电和漏电流等特性...

关键词: 铁电薄膜 , 共掺杂 , BNTM , 化学溶液沉积法