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BST/BZT/BST多层薄膜结构与性能研究

秦文峰 , 熊杰 , 李言荣

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2010.00247

利用脉冲激光沉积法在LaNiO₃ /LaAlO₃ (001)基片上生长了Ba _0.6 Sr _0.4 TiO₃（BST）和Ba(Zr _0.2...

关键词: BST/BZT/BST , thin films , dielectric constant , leakage current characteristics

BST/BZT/BST多层薄膜结构与性能研究

秦文峰 , 熊杰 , 李言荣

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2010.00247

利用脉冲激光沉积法在LaNiO_3/LaAlO_3(001);基片上生长了Ba_(0.6)Sr_(0.4)TiO_3(BST)和Ba(Zr_(0.2)Ti_(0.8))O_3(BZT)单层薄膜,以及Ba(zr_(0.2)Ti_(0.8)O_3/Ba_(0.6)Sr_(0.4)TiO_3/Ba(Zr_...

关键词: BST/BZT/BST , 薄膜 , 介电常数 , 漏电流

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