秦文峰
,
熊杰
,
李言荣
无机材料学报
doi:10.3724/SP.J.1077.2010.00247
利用脉冲激光沉积法在LaNiO3 /LaAlO3 (001)基片上生长了Ba 0.6 Sr 0.4 TiO3（BST）和Ba(Zr 0.2 Ti 0.8 )O3（BZT）单层薄膜,以及Ba(Zr 0.2 Ti 0.8 )O3/ Ba 0.6 Sr 0.4 TiO3 / Ba(Zr 0.2 Ti 0.8 )O3（BZT/BST/BZT）多层薄膜.X射线衍射（XRD）分析发现,BST、BZT和LNO薄膜都具有高度的（00l）取向.原子力显微镜 （AFM）显示三种样品表面光滑无裂纹,晶粒尺寸和表面粗糙度相当.电容测试表明,相对BST、BZT单层薄膜,多层薄膜具有最大的品质因数42.07.表明多层薄膜在微波应用中具有很大的潜力.
关键词:
BST/BZT/BST
,
thin films
,
dielectric constant
,
leakage current characteristics
秦文峰
,
熊杰
,
李言荣
无机材料学报
doi:10.3724/SP.J.1077.2010.00247
利用脉冲激光沉积法在LaNiO_3/LaAlO_3(001);基片上生长了Ba_(0.6)Sr_(0.4)TiO_3(BST)和Ba(Zr_(0.2)Ti_(0.8))O_3(BZT)单层薄膜,以及Ba(zr_(0.2)Ti_(0.8)O_3/Ba_(0.6)Sr_(0.4)TiO_3/Ba(Zr_(0.2)Ti_(0.8))O_3(BZT/BST/BZT)多层薄膜.X射线衍射(XRD)分析发现,BST、BZT和LNO薄膜都具有高度的(00ι)取向.原子力显微镜(AFM)显示三种样品表面光滑无裂纹,晶粒尺寸和表面粗糙度相当.电容测试表明,相对BST、BZT单层薄膜,多层薄膜具有最大的品质因数42.07.表明多层薄膜在微波应用中具有很大的潜力.
关键词:
BST/BZT/BST
,
薄膜
,
介电常数
,
漏电流
