李颂战
,
杨艳芹
,
王水兵
,
刘文琮
功能材料
采用射频磁控溅射法在Si(100)衬底上沉积了Ba0.65Sr0.35TiO3薄膜.借助XRD、AFM和SEM研究了衬底温度、退火温度、溅射气压等不同的溅射参数对Ba0.65Sr0.35TiO3薄膜的晶化行为和显微结构的影响.在室温下沉积并未经退火处理的Ba0.65Sr0.35TiO3 薄膜是无定形...
关键词:
溅射工艺
,
BST薄膜
,
晶化
,
取向
余桉
,
杨传仁
,
张继华
,
陈宏伟
,
王波
,
张瑞婷
材料导报
铁电薄膜移相器响应速度快、成本低、功耗和体积小,是一种模拟移相器,非常适合应用于相控阵天线特别是共形阵天线.介绍了4种主要的铁电薄膜移相器的结构、原理、性能和特点,指出分布型和全通网络型铁电薄膜移相器具有良好的发展前景,并进一步总结了国内外研究现状和存在的问题,提出了今后的研究方向.
关键词:
移相器
,
铁电薄膜
,
相控阵天线
,
BST可变电容
,
BST薄膜
王萍
,
李弢
,
谢波玮
,
古宏伟
稀有金属
doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2007.01.026
研究了Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备Ba0.7Sr0.3TiO3(BST7/3)薄膜时,基片加热温度和溅射功率对薄膜显微形貌和成相的影响.实验结果表明:常温下低功率溅射的BST7/3薄膜,表面形貌非常平整,但为非晶态物质的堆积;400 ℃高功率150 W溅射4 h的BST薄膜,其最大表面起伏约...
关键词:
射频磁控溅射
,
Pt/Ti/SiO2/Si
,
BST薄膜
,
表面形貌
卢肖
,
吴传贵
,
张万里
,
李言荣
功能材料
采用射频溅射制备Ba0.8Sr0.2TiO3(BST)薄膜,研究了测试温度(295～375K)对BST薄膜J-V(电流密度-电压)特性的影响.实验发现:J∝Vm在低场下(V＜1.8V)m≈1,高场下(V＞1.8V)m≈8.随着测试温度升高,在低场下电流密度增大,指数m值保持不变;而在高场下电流密度减...
关键词:
BST薄膜
,
漏电流
,
温度特性
,
空间电荷限制电流
魏贤华
,
张鹰
,
梁柱
,
黄文
,
李言荣
材料导报
由于界面之间的扩散,很难取得在Si基片上BST薄膜的外延.在这种异质结之间,稳定的缓冲层起着良好的阻挡作用以及结构上的延伸功能.综述了用于外延BST薄膜的缓冲层材料的意义和要求,及国内外通过缓冲层来控制界面以及薄膜的外延取向而获得高质量薄膜的最新研究动态,展望了今后用于外延BST薄膜的缓冲层材料发展...
关键词:
缓冲层
,
Si基片
,
BST薄膜
,
异质外延
,
界面
吴传贵
,
刘兴钊
,
张万里
,
李言荣
功能材料
利用传统陶瓷工艺制备出BST(65/35)倒筒靶,采用射频溅射法沉积薄膜.开展了对Pt/Ti/SiO2/Si基底热处理工艺与BST同质缓冲层研究,总结出了可以确保基底界面性能良好、BST薄膜结构致密的工艺方法.介电性能测试表明:BST薄膜的介电常数约为60～70,介电损耗为1.5%～2.5%,居里温...
关键词:
BST薄膜
,
射频溅射
,
低温沉积
,
红外探测器
