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非晶 Ti-Al 过渡层对 Pt/Ba0.6Sr0.4TiO3/Pt电容器结构和性能的影响

赵冬月 , 刘保亭 , 郭哲 , 李曼 , 陈剑辉 , 代鹏超 , 韦梦祎

人工晶体学报

应用磁控溅射法在 Pt/Ti/SiO2/Si(001)衬底上制备 5 mm 厚超薄非晶 Ti-Al 薄膜作为过渡层,利用脉冲激光沉积法制备 Ba0.6 Sr0.4TiO3 薄膜,构造了 Pt/Ba0.6Sr0.4TiO3/Pt(Pt/BST/Pt)和 Pt/Ti-Al/Ba0.6Sr0.4TiO3/...

关键词: BST 薄膜 , 非晶 Ti-Al 薄膜 , 过渡层 , 脉冲激光沉积