张卫华
,
袁媛
,
石春梅
,
赵高扬
无机材料学报
doi:10.3724/SP.J.1077.2008.00886
采用改进的化学修饰的溶胶-凝胶工艺, 以聚乙烯吡咯烷酮(PVP)为薄膜开裂抑制剂, 以乙酰丙酮为化学修饰剂, 利用乙酰丙酮可以与金属盐形成的配位螯合物的特性, 制备了具有紫外光感光特性的钛酸锶钡(Ba0.8Sr0.2TiO3)前驱溶胶及其凝胶薄膜; 结合直接感光法, 首先制备图形化凝胶薄膜, 再通过后续热处理, 在Pt/TiO2/SiO2/Si衬底上最终得到了具有钙钛矿结构的钛酸锶钡图形化薄膜, 其图形厚度约为793nm, 相对介电常数约为600, 介电损耗约为0.03.
关键词:
BST薄膜
,
photosensitivity
,
fine patterning
,
sol-gel process
