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锆钛酸钡薄膜的制备及其光学性能研究

黄隆 , 王军 , 谢亚楠

绝缘材料 doi:10.3969/j.issn.1009-9239.2010.05.016

采用溶胶凝胶法(Sol-gel)在石英衬底上制备了锆钛酸钡(BZT)薄膜.通过差热分析仪(DTA),确定了BZT薄膜的热处理工艺.用分光光度计测试了BZT薄膜的透射谱,结果表明,在可见光及近红外区域,BZT薄膜具有较高的透过率.采用"包络法"计算了BZT薄膜的光学常数,结果表明,波长从370 nm增加到1100nm时,BZT薄膜的折射率为1.75-1.93,薄膜厚度为268 nm,BZT薄膜的光学带隙为4.2 eV.

关键词: 溶胶凝胶法 , BZT 薄膜 , 光学性质

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