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  • 论文(3)

Ba0.5Sr0.5TiO3铁电薄膜的微弧氧化成膜研究

王敏 , 郭会勇 , 张果戈 , 李文芳

表面技术

以0.2 mol/L Ba(OH)2+0.2 mol/L Sr(OH)2溶液为电解液,采用微弧氧化法,在Ti板表面原位生长铁电薄膜,并对薄膜的物相构成、元素分布情况、截面结构及介电性能进行表征.结果表明:该工艺下制备的薄膜主要由四方相Ba0.5Sr0.5TiO3构成,薄膜致密层内,Ba,Sr,Ti和...

关键词: Ba0.5Sr0.5TiO3 , 铁电薄膜 , 微弧氧化 , 介电性能

Ba0.5Sr0.5TiO3铁电薄膜的微弧氧化制备工艺

王敏 , 郭会勇 , 李文芳 , 张果戈

材料热处理学报

用分析纯Ba(OH)2·8H2O和Sr(OH)2·8H2O配制电解液(浓度各为0.2 mol/L),采用微弧氧化技术在工业纯钛板(99.5%)表面原位生成BaxSr(1-x)TiO3铁电薄膜.对不同电流密度、电流频率和反应时间条件下获得的薄膜进行表征,研究了各因素对薄膜物相构成、表面形貌和表面粗糙度...

关键词: 铁电薄膜 , Ba0.5Sr0.5TiO3 , 微弧氧化 , 表面形貌

沉积温度和退火处理对Ba0.5Sr0.5TiO3介电性能的影响

楼均辉 , 林明通 , 陈国荣 , 杨云霞 , 肖田 , 陈晨曦

材料导报

采用射频磁控溅射法在ITO/Corning1737玻璃基片上制备了用于无机EL绝缘层厚约700nm的Ba0.5Sr0.5TiO3介电薄膜,研究了沉积温度和退火处理对薄膜介电性能的影响.实验表明,随着沉积温度的升高,薄膜的介电常数、介电损耗、正反向漏电流密度增加,击穿场强下降.对于在500℃下沉积的薄...

关键词: Ba0.5Sr0.5TiO3 , 薄膜 , 介电性能 , 沉积温度 , 退火处理

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