娄建忠
,
李振娜
,
方晓燕
,
代秀红
,
宋安英
,
宋建民
,
刘保亭
人工晶体学报
采用脉冲激光沉积系统分别在LaAlO3(001)和MgO(001)衬底上沉积了Ba06Sr04TiO3(BST)薄膜,以Pt做电极分别构架了Pt/BST/MgO和Pt/BST/LaAlO3叉指电容器.利用X射线衍射仪、原子力显微镜和Aglient E4980LCR表分别对两种薄膜的结构、表面形貌和介...
关键词:
脉冲激光沉积
,
Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜
,
外延
,
介电性能
秦文峰
,
韩孝强
人工晶体学报
采用脉冲激光沉积技术(PLD)在单晶基片LaAlO3(001)、MgO(002)上分别制备Ba06Sr04TiO3/La0.5Sr05CoO3(BST/LSCO)、Ba0.6Sr04TiO3/SrRuO3 (BST/SRO)异质结构,研究了LSCO和SRO底电极对BST薄膜晶相结构、表面形貌及BST...
关键词:
Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜
,
脉冲激光沉积
,
底电极
,
介电常数
