朱美光
,
张健
,
王志亮
,
马殿飞
材料科学与工程学报
采用湿化学刻蚀法直接在n-Si衬底上制备了硅纳米线（Si NWs）,用无电镀法在制备好的硅纳米线上修饰Pt纳米粒子作为上电极以形成结构为Pt/Si NWs/n-Si/Al的肖特基二极管。研究了无电镀参数（如氯铂酸钾K2PtCl6浓度,无电镀时间）对结构为Pt/Si NWs/n-Si/Al的肖特基二极管电流-电压的影响。从所得的电流-电压特性曲线中提取了肖特基二极管的三个特征参数（理想因子、势垒高度以及串联电阻）,并分析了这三个特征参数与无电镀参数的关系,从而确定了一个制备结构为Pt/Si NWs/n-Si/Al肖特基二极管的理想条件。研究还发现所制备的肖特基二极管理想因子大于1,势垒高度～0.67eV,与金属铂（Pt）的功函数无关,这些特性可以用巴丁模型来解释。
关键词:
硅纳米线
,
肖特基二极管
,
巴丁模型
