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Ba_xSr_1-xTiO₃前驱多层膜制备及后热处理条件的优化

郭杏元 , 刘庆峰 , 刘茜 , 吴庆生

无机材料学报

用Ar^~+离子束多靶溅射沉积技术在单晶硅Si(100)上顺序沉积了TiO₂、BaCO₃、SrCO₃叠层,并经后期低温扩散和高温晶化两步热处理过程制备了Ba_xSr_1-xTiO₃薄膜。用俄歇扫描电子能谱(AES)对其低温扩散效应(温度、时效、沉积顺序)进行了研究。实验结果表明:在低温段长时间保温或在中温段短时间保温都有利于各沉积组元充分扩散,扩散均匀的混合膜层经高温晶化(900℃)能形成多晶Ba_xSr_1-xTiO₃薄膜。

关键词: Ba_xSr_1-xTiO₃ , ion beam sputtering , sequential deposition , Auger Electronic Spectrum , diffusion

BaxSr1-xTiO3前驱多层膜制备及后热处理条件的优化

郭杏元 , 刘庆峰 , 刘茜 , 吴庆生

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2003.03.014

用Ar+离子束多靶溅射沉积技术在单晶硅Si(100)上顺序沉积了TiO2、BaCO3、SrCO3叠层,并经后期低温扩散和高温晶化两步热处理过程制备了BaxSr1-xTiO3薄膜.用俄歇扫描电子能谱(AES)对其低温扩散效应(温度、时效、沉积顺序)进行了研究.实验结果表明:在低温段长时间保温或在中温段短时间保温都有利于各沉积组元充分扩散,扩散均匀的混合膜层经高温晶化(900℃)能形成多晶BaxSr1-xTiO3薄膜.

关键词: BaxSr1-xTiO3 , 离子束溅射 , 顺序沉积 , AES , 扩散

溶胶-凝胶法制备BaxSr1-xTiO3铁电薄膜的研究

王静 , 兰艳梅 , 王伟 , 杨彩琴 , 刘明登

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2001.06.038

介绍了sol-gel法制备BaxSr1-xTiO3铁电薄膜的工艺参数.在溶胶中加入一定体积百分含量的干燥化学控制添加剂(DCCA)可有效的防止薄膜开裂.通过IR、XRD谱图、C-V回线、I-V曲线等测试方法比较了金属醇盐法和以部分醋酸盐代替醇盐法制备薄膜的微观结构和性能.实验结果表明,全部采用醇盐为原料制备的BST薄膜性能较好.通过两种方法制备BST薄膜性能的差异,本文提出了这两种方法的成膜机理.

关键词: 溶胶-凝胶法 , BaxSr1-xTiO3 , 铁电薄膜

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